作者:高振宁,陈德勇,王军波,毋正伟 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2008年第10期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2008100100 DOC编号:DOCBDTQ2008100109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理》PDF+DOC2007年第Z1期 邢维巍,樊尚春 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC2004年第05期 樊尚春 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC2003年第04期 朱长纯,韩建强,刘君华 《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2009年第06期 史晓晶,陈德勇,王军波,毋正伟,刘磊 《谐振式微小型压力传感器数字闭环系统》PDF+DOC2006年第11期 周浩敏,赵巧转,汤章阳 《基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2013年第06期 曹明威,陈德勇,王军波,焦海龙,张健 《微结构谐振梁式压力传感器研究》PDF+DOC2000年第04期 陈德勇,崔大付,王利,韩泾鸿 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC2000年第05期 樊尚春,刘广玉 《硅微板条谐振式传感器谐振频率分析及计算》PDF+DOC1994年第06期 李志能,陆献尧,裴念 《谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究》PDF+DOC2006年第12期 樊尚春,乔少杰,张轩
  • 利用微电子机械加工技术成功研制出电磁激励-电磁拾振硅谐振梁式压力传感器。传感器以“H”型双端固支梁为谐振器,采用差分检测结构。工艺制作采用体硅加工工艺,并且采用一种减小封装应力的结构完成压力传感器的真空密封及封装。利用锁相环微弱信号检测技术建立的开环频率特性测试系统及闭环自激测试系统测试了传感器的频率、压力特性等相关技术指标。谐振器在空气中的品质因素Q值大于1200;在真空中的Q值大于7000。压力满量程刻度为0~120kPa。差分输出的结果优于单个谐振梁的输出结果,差分输出结果的线性相关系数为0.9999,灵敏度为225.77Hz/kPa。

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