《硅微微压传感器的设计》PDF+DOC

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2. 《基于小挠度假设的电容式微型压力传感器模型》PDF+DOC 在小挠度变形假设的基础上对接触型电容式微型压力传感器进行分析。通过对压力传感器敏感元件硅膜片的弹性分析给出了传感器的模型。传感器的接口电路由ＭＯＳ电流镜和模拟开关构成，该电路具有线性度好和测量增益高的特点，并能有效地消除电路中的寄生电容对测量的影响，大大降低测量噪声。...
3. 《微压压力传感器的结构改进》PDF+DOC 硅压力传感器具有小型和高灵敏度的优点。近年来小型高灵敏度的压力传感器的量程已低到1kPa。在这一发展过程中硅弹性体结构的改进起了很大的作用。本文介绍了作者首先提出的适用于微压压力传感器的梁膜（岛）结构以及以后几年来出现的相近的结构。用这些结构都已制成全程为1kPa的压力传感器。...
4. 《带补偿的光纤微压传感器》PDF+DOC 介绍一种用三根并排的光纤组成的差动补偿式微压传感器.传感器采用了差动补偿的检测方法，其输出不受光源强度波动、反射片反射率变化等的影响.该传感器在20kPa的测量范围内保持0.48%的线性度，长时间稳定性为0.2%/4小时。...
5. 《微压传感器的研制》PDF+DOC 一、引言 目前国内半导体压阻式的微量程压力传感器生产尚未成型，处于研制阶段，主要存在下列问题：1.机械加工不能制造出膜片极薄的硅杯；2.在膜片极薄的情况下无法控制...
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8. 《用于流体压力测量的电容传感器》PDF+DOC 叙述了电容应变式流体压力传感器的基本原理 ，给出了一种电容应变式流体压力传感器的检测电路 ，并分析了流体压力大小与传感器输出电压的关系。实验结果表明 ，该传感器具有精度高、线性度好、灵敏度大等优点 ，尤其适于微压力和大动态力的测量...
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