《声表面波气体传感器的研究进展》PDF+DOC
作者:杨楷,李志刚,景玉鹏,陈大鹏
单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会
出版:《电子元件与材料》2008年第09期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZAL2008090100
DOC编号:DOCDZAL2008090109
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介绍了声表面波气体传感器的基本结构和研究进展,指出了其存在的主要问题及解决方法:如温度控制电路可解决温度的影响;仿钻结晶碳覆盖层可解决湿度影响;人工神经网络技术可解决响应时间;监视声表面波的频率和振幅在高次谐波下的变化,可解决在低浓度工作时的灵敏度等问题。展望了声表面波气体传感器的发展趋势,认为该传感器的研究价值很高,市场前景广阔。
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