作者：陈尚,薛晨阳,张斌珍,张国军,乔慧,张开锐 单位：哈尔滨工程大学 出版：《哈尔滨工程大学学报》2008年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHEBG2008050110 DOC编号：DOCHEBG2008050119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对目前矢量水声传感器存在的高灵敏度、低频检测以及小型化等问题，提出了一种新型的硅微MEMS矢量水声传感器.利用敏感材料的压阻效应?传感器精巧的微结构以及硅微MEMS技术，实现矢量水声传感器的低频特性和小型化的可行性.以声场中的刚硬圆柱在声波作用下的声散射问题作为切入点，对传感器的同振原理进行分析，并基于该机理以及传感器的特殊结构，提出采用注入蓖麻油的方法实现微结构的柱体与所处介质质点同振.分别采用振动台标定和驻波场测量的方法完成了传感器的灵敏度、频响以及指向性的测试，最后对2种测试结果进行了分析和比较.研究结果表明：所研制的水声传感器具有较低的工作频率，其水下自由场声压灵敏度值为-207.6 dB(0 dB=1 V/μPa，测试频率为200 Hz)，指向性图的零点深度为50.9 dB。

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