作者：张振海,李科杰,任宪仁,刘俊 单位：中国兵工学会 出版：《兵工学报》2008年第06期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBIGO2008060120 DOC编号：DOCBIGO2008060129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为获取硬目标侵彻武器弹体侵彻过程中完整的三轴向加速度信号，研制了三维高冲击过载MEMS压阻式加速度传感器。提出了中心岛硬心质量块E型膜片结构设计方案和独特的三维力敏电阻的布桥方式，并详细阐述了传感器三维加速度测试的工作原理，运用有限元分析软件进行仿真验证，并运用零阶粗优化与一阶梯度寻优相结合的优化算法，对传感器敏感芯片的结构参数进行优化。优化仿真结果表明：传感器敏感芯片的结构强度足够，可承受的瞬态高冲击过载峰值最高可达2&#215；105g；芯片固有频率可达231 kHz；三轴向加速度测试力敏电阻布设位置应力应变大，使得传感器有较高的输出灵敏度，理论上的优化仿真分析保证了传感器有可靠的工作性能，最后研制传感器原理样机，进行实验验证。

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