作者：张凤田,唐祯安,余隽,汪家奇 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2008年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2008070210 DOC编号：DOCGXJM2008070219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微热板式气压传感器结构设计与热分析》PDF+DOC2004年第06期 张凤田,唐祯安,高仁璟,金仁成,郭文泰,王海霞 《微气体传感器微热板的优化设计》PDF+DOC2015年第04期 刘丽丽,何越,刘震,王连元,刘丽,苏畅,薄小庆,张晓波 《高温压力传感器温度特性的改善》PDF+DOC1997年第05期 姚素英,毛赣如,曲宏伟,张维新,张荣 《半导体高温压力传感器的研究》PDF+DOC1996年第02期 毛赣如,姚素英,曲宏伟,张维新 《微热板式低气压传感器的研制》PDF+DOC2005年第07期 张凤田,唐祯安,余隽,金仁成,高仁璟,江胜峰 《气压和流速对微热板气体传感器的影响》PDF+DOC2002年第S1期 黄正兴,唐祯安,申爽,陈正豪 《陶瓷微热板阵列式可燃气体传感器》PDF+DOC2012年第10期 薛严冰,唐祯安 《微气体传感器微热板电极结构的设计与优化》PDF+DOC2014年第09期 刘丽丽,王连元,郭欣,刘震,刘丽 《新型气体传感器微热板的设计与优化》PDF+DOC2014年第07期 迟霄,张晓波,刘丽,何越,王连元 《一种加热丝埋入式微热板的研制》PDF+DOC2013年第10期 丁如义,张欢,孙全涛,王海容,陈磊

    • 研究了微热板的传热特性，从理论上分析了恒温模式下工作温度和结构尺寸对微热板电阻真空传感器工作特性的影响。设计了一种边长为93μm、四臂支撑的方形微热板结构的电阻真空传感器，支撑桥长65μm、宽21μm，微热板与衬底之间的气隙高度为0.5μm；采用表面微机械加工技术成功实现了该传感器的加工。用恒温电路进行测试的结果显示，该微热板真空传感器气压测量范围约2~105Pa，且响应特性与理论计算结果相符。

    📙 相关资料

    1. 《微热板式气压传感器结构设计与热分析》PDF+DOC 给出了采用牺牲层技术制作的微热板式气压传感器的加工工艺和工作原理。分析了微热板各层薄膜厚度、微热板下气隙高度、支撑桥尺寸、微热板面积大小对传感器加工、工作性能的影响，并结合实际工艺条件设计了一种采用不同支撑桥尺寸的传感器结构。理论分析了恒温加热方式下微热板各种传热途径随气压的变化关系；用有限元方法模......
    2. 《微气体传感器微热板的优化设计》PDF+DOC 基于铂的热敏热阻特性和Si O2的绝热绝缘特性，设计了一种以铂作为电极材料，Si O2作为隔热层和绝缘层材料的微气体传感器的硅基微热板结构。利用有限元分析工具对微热板的基底和电极分别进行了设计和优化，并分析了微热板的热场和磁场分布。当基底设计为前Si O2层、中间Si层、后Si O2层3层结构且厚度......
    3. 《高温压力传感器温度特性的改善》PDF+DOC 分析研究了多晶硅电阻对半导体高温压力传感器温度特性的影响，找到了改善传感器温度性能的最佳途径。研制出工作温度为２５０&#176；Ｃ、压力量程为０～１ＭＰａ、灵敏度大于４０ｍＶ／ｍＡＭＰａ的传感器。...
    4. 《半导体高温压力传感器的研究》PDF+DOC 介绍多晶硅压力传感器，由于采用二氧化硅介质膜作应变电阻之间的隔离，因而提高了传感器的工作温度。实验表明，该类传感器具有灵敏度高、精度高、温度特性好、工作温限高等特点。...
    5. 《微热板式低气压传感器的研制》PDF+DOC 研制了一种采用CMOS工艺和表面牺牲层技术加工的微热板式低气压传感器.该微热板为四臂支撑悬空矩形板，其边长为75μm，支撑桥长为60μm，板下气隙高度为0.5μm.采用经典傅里叶传热理论分析了恒电流工作方式下气压对微热板瞬态和稳态热特性的影响，结果表明在低气压范围内微热板传热以支撑桥导热为主，气压较......
    6. 《气压和流速对微热板气体传感器的影响》PDF+DOC 微热板具有加热功耗低和热电动态响应快的优点 ，是集成气体传感器等微传感器的核心部件。通过实验测定 ，介绍气压和流速对微热板气体传感器性能的影响...
    7. 《陶瓷微热板阵列式可燃气体传感器》PDF+DOC 设计了基于陶瓷基底的悬桥式微热板结构以解决硅微热板高温稳定性差的问题。分析了微热板的传热过程，并通过有限元工具对其稳态热响应特性及微加热器电极结构进行了模拟。采用常规微电子技术结合激光微加工技术，实际制作了基底厚度为100μm，桥宽度为2mm的微结构，并对结构的加热功率-温度关系进行了测试。结果表明......
    8. 《微气体传感器微热板电极结构的设计与优化》PDF+DOC 设计了一种微气体传感器微热板的电极结构，利用有限元分析工具ANSYS对该微热板的温度场和磁场分布进行了分析和优化，研究了微热板加热电极的宽度和间距对温度分布的影响，并对测量电极的结构进行了优化。结果表明：当微热板加热电极的宽度和间距分别为20μm和10μm且测量电极为无叉指结构时，微热板中心区域能获......
    9. 《新型气体传感器微热板的设计与优化》PDF+DOC 设计了一种新型气体传感器的微热板结构，利用铂作为电极材料，SiO2作为隔热层和绝缘层。通过有限元分析工具分析了基底中各材料厚度不同时微热板的温度分布，并对测量电极的结构进行了优化。当微热板的基底中前SiO2层、中间Si层、后SiO2层的厚度分别为50μm、150μm、100μm且测量电极不放叉指时，......
    10. 《一种加热丝埋入式微热板的研制》PDF+DOC 在传统“三明治”夹层结构的基础上，微热板将加热丝埋入到基底绝缘层中，通过周围绝缘层介质对加热丝的约束作用，减小了Pt加热丝与基底以及覆盖层热膨胀系数失配所产生的热应力对器件稳定性造成的影响，从而提高微热板在高温工作时的稳定性。主要加工工艺流程为：利用热氧化方法和LPCVD在4 in硅片两侧制备SiO......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。