作者：杜鹏,谭秋林,薛晨阳,秦丽,鲍爱达,熊继军 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2008年第06期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2008060000 DOC编号：DOCYBJS2008060009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 对一种吸收光谱型气体红外传感器的工作原理、设计原理和集成化设计进行了分析。其中气体浓度对光谱的吸收会影响光强的变化，所以将微型热释电红外敏感头、小型灯泡都集成在1个小型的气室中，气室中有2个通道，气体探测通道和参考通道。2个通道光强的强弱差就会体现出气体浓度的大小，这样就实现了测试气体浓度的功能。集成化采用MEMS工艺将红外双路敏感元件及滤光片制作成探测头，然后通过微封装和微小集成技术将探测头、红外光源、过滤网集成在气室内。

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