作者：刘俊,郭虎岗,马喜宏,谭秋林 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2008年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2008030240 DOC编号：DOCCGQJ2008030249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 将微机械加工工艺与混合集成技术相结合，设计并制作了具有RS422标准接口的数字三轴加速度传感器。采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺将敏感元件、信号调理电路、模数转换电路和接口电路集成于一体，集成后的体积为45mm&#215；45mm&#215；15mm，实现了传感器的数字化、小型化和模块化，并大大提高了系统的测量精度和可靠性。

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