作者：徐凌,任先武,周明军,栾剑,王朔 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2008年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2008100330 DOC编号：DOCCGQJ2008100339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了测量氧化铝湿度传感器的湿度源装置，该装置由5个固体干燥剂湿度源单元组成。实验了露点9.3~-33.5；9.3~-65.2℃；-14.5~-65.2℃；-65.2~-14.5℃转换时的平衡时间特性，实验验证了湿度源单元的准确性。结果表明：露点-65.2~-14.5℃转换时的平衡时间小于2 min，固体干燥剂湿度源装置可满足氧化铝湿度传感器实验测量需要。

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