作者：赵影,朱荣,叶雄英,杨拥军 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008040250 DOC编号：DOCCGJS2008040259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微热对流角速度传感器是一种新型的惯性传感器件，由于采用流体代替传统的固体质量块作为敏感载体，因而具有极其独特的性能，特别是高抗冲击性。采用ANSYS有限元分析软件，对微热对流角速度传感器的加热丝支撑层和检测丝支撑层进行动静态变形和应力计算，得出应力最大点，微加热丝支撑层的应力最大点在固支位置附近，检测丝支撑层的应力最大点在固支位置附近和内拐角处。在z方向有一定加速度载荷作用下，加热丝支撑层的最大应力比检测丝支撑层的最大应力大，更容易破坏。理论计算得到微热对流角速度传感器样品可抗冲击200000gn，经过抗冲击实验验证，微热对流角速度传感器样品在21200gn的冲击下仍完好无损，有极好的抗冲击性能。

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