作者：贺学锋,温志渝,温中泉,王晓兰 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008040170 DOC编号：DOCCGJS2008040179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 隧尖与阳极之间的可控间距是关系到隧道加速度传感器能否正常工作的一个重要参数，静电吸合限制了该可控间距的范围，本文从理论上分析了静电吸合对隧道加速度传感器设计的影响。对于质量块作活塞式运动的平动型隧道加速度传感器，只有当隧尖与阳极之间的初始间距小于两个反馈电极之间的初始间距的三分之一加上发射间距的和时，力平衡才能实现。对于质量块由多根平行悬臂梁支承的隧道加速度传感器，首次提出并证明，增大隧尖与悬臂梁末端的水平距离可以扩大锥尖高度和锥尖与阳极之间的初始间距的取值范围，从而降低对传感器加工工艺的要求。

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