作者:刘妤,温志渝 单位:中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版:《功能材料与器件学报》2008年第02期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGNCQ2008020100 DOC编号:DOCGNCQ2008020109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 工艺特性在很大程度上决定了MEMS器件最终的功能特性。本文针对自主设计的二维微加速度传感器,在概念设计阶段定量分析了工艺特性对传感器性能的影响,主要包括质量偏心、梁加工误差、结构对称性、非平行效应等。结果表明:质量偏心会引起角位移变化,但对主轴刚度无影响,传感器不会有输出;在现有工艺条件下,可忽略梁厚误差的影响,但需严格控制梁宽误差;各种不对称方案对传感器主轴刚度和横向灵敏度的影响程度不同,不对称方案对横向灵敏度的影响随着不对称性的加剧而增大;非平行效应使得在相同外载荷作用下敏感轴向位移减小,但静态灵敏度却有所增加。

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