作者：张慧,宋光德,栗大超,官志坚,靳世久 单位：天津大学 出版：《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》2008年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFTJDX2008010060 DOC编号：DOCTJDX2008010069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 电容式微加工超声传感器(cMUT)是近年来出现的新型器件，具有高灵敏度、频带宽和机电转换效率高等优点，大有取代传统的压电式超声传感器之势.介绍了cMUT的基本结构和工作原理，提出了一种新型传感器结构.针对此结构建立了两个有限元模型，通过对其中的一个三维模型进行模态分析得知，cMUT可工作在一阶频率处，其振动频率为4.582 MHz；利用另一个三维模型进行静态和谐波分析，得出传感器的塌陷电压为213 V，当对cMUT施加45 V直流偏置电压和1.6 V交流电压时，其谐振频率为4.147 MHz，薄膜的最大位移为0.447μm。

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