《MEMS压阻式加速度传感器的研究进展》PDF+DOC
作者:范树新,耿振亚,聂丽梅
单位:长沙矿山研究院
出版:《采矿技术》2008年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFSJCK2008040470
DOC编号:DOCSJCK2008040479
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介绍了MEMS压阻式加速度传感器的特点和工作原理,分析了国内外MEMS压阻式加速度传感器的研究热点及进展。
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