作者：王生怀,杨旭东,谢铁邦 单位：中国计量科学研究院 出版：《计量科学与技术》2008年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLJS2008060010 DOC编号：DOCJLJS2008060019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种双衍射光栅位移传感器，给出了其基本结构，并从多普勒效应的角度分析了其工作原理，给出了双衍射光栅产生的干涉条纹的接收方式和相应的光电信号的处理方法。该传感器与精密位移工作台组合成的表面粗糙度测量系统，对粗糙度样板进行了实测，结果表明该传感器能满足表面粗糙度测量要求。

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