作者：葛益娴,王鸣,闫海涛,戎华 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2008年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2008020410 DOC编号：DOCGNCQ2008020419 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《白光干涉解调光纤MEMS压力传感器》PDF+DOC2014年第10期 江小峰,林春,谢海鹤,颜黄苹,张建城,黄元庆 《热应力和残余气压对光纤法布里-珀罗压力传感器温度性能的影响》PDF+DOC2015年第03期 吴振海,刘铁根,江俊峰,刘琨,王双,尹金德,邹盛亮,秦尊琪,吴凡 《基于长周期光纤光栅和蝶形锥的光纤横向压力传感器》PDF+DOC2016年第11期 楼伟民,申屠锋营,刘桦楠,王友清,沈常宇 《薄膜型光纤F-P腔传感器弧形腔效应的补偿》PDF+DOC2017年第05期 杜旭,霍力,喻乐,张敏 《用于义齿压力分布式测量的光纤MEMS压力传感器》PDF+DOC2012年第12期 郑志霞,黄元庆,冯勇建 《非本征法布里-珀罗光纤氢气传感器的研究》PDF+DOC2010年第01期 杨振,张敏,廖延彪,田芊,黎启胜,张毅,庄志 《径向基函数神经网络在光纤法布里-珀罗传感器解调中的应用》PDF+DOC2009年第05期 吴婧,王鸣 《光纤菲佐气体压力传感器的波分频分复用方法》PDF+DOC2008年第01期 唐庆涛,饶云江,朱涛,周昌学 《FFT与CZT联合算法用于光纤法布里珀罗传感器解调》PDF+DOC2008年第01期 戴霞娟,王鸣 《F-P腔式光纤压力传感器温度补偿设计研究》PDF+DOC2013年第S2期 王增健

    • 提出了一种新的压力传感器，该传感器基于Fabry-Perot腔干涉和相位解调理论测量压力。设计用MEMS技术以及普通的光通讯接插件制作出工艺简单，分辨率高的光纤MEMS压力传感器。阐述了传感器的工作原理，分析了硅膜的厚度对传感器性能的影响以及FP腔的长度对反射光信号的影响。研究了基于相位解调法的傅里叶变换方法，傅里叶解调法受光源强度波动的影响较小，解调精度高。实验结果表明改传感器在[0-3]MPa测量范围内，线性好，灵敏度可达到3.50 m/MPa(腔长改变/压力)。

    📙 相关资料

    1. 《白光干涉解调光纤MEMS压力传感器》PDF+DOC 为了在强电磁干扰、高温、高压等恶劣环境下实现压力的测量，进一步提高传感器的小型化并降低其制作成本，提出并设计了一种基于白光干涉解调的光纤法布里-珀罗压力传感器，实现了传感器的压力测量.基于微机电系统技术，采用光刻、阳极键合以及化学腐蚀的方法制作了以硅和玻璃构成的法布里-珀罗腔体，使用二氧化碳激光器对......
    2. 《热应力和残余气压对光纤法布里-珀罗压力传感器温度性能的影响》PDF+DOC 针对光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器，建立了考虑热应力和残余气压的F-P腔长变化模型，进行了热应力和残余气压对传感器温度性能影响的理论分析。分析表明，热应力和残余气压的引入使F-P腔长改变量与温度的线性关系发生了变化，在外界施加100 k Pa压力，当腔内残余气压小于0.87 k Pa时，热应力......
    3. 《基于长周期光纤光栅和蝶形锥的光纤横向压力传感器》PDF+DOC 提出一种基于长周期光纤光栅(LPG)和蝶形锥(BTT)的光纤横向压力传感器。传感器是由LPG和一段单模光纤(SMF)熔接而成，其特点是在熔接处会形成一个BTT。实验中，横向压力作用在LPG上，干涉谱共振波长强度随横向压力的变化而变化。当横向压力从0.000增加到1.225N/mm时，传感器的灵敏度达......
    4. 《薄膜型光纤F-P腔传感器弧形腔效应的补偿》PDF+DOC 讨论并仿真了薄膜型光纤F-P腔传感器弧形腔效应的补偿。当一个薄膜型光纤F-P腔传感器的形变位移足够显著时，将产生弧形腔效应而使其不再完全服从平行平面腔传播模式规律。此时必须对平行平面腔的传播模式进行修正以符合弧形腔的实际规律。利用基尔霍夫衍射方程对弧形腔模型进行了计算和仿真，确定了弧形腔的散射效应，......
    5. 《用于义齿压力分布式测量的光纤MEMS压力传感器》PDF+DOC 根据Fabry-Prot(F-P)腔的干涉原理，采用微机电系统(MEMS)工艺，研制出一种用于义齿压力检测的F-P腔光纤微型压力传感器。传感器膜片厚为6μm，膜片边长为100μm。在与义齿基托相同材料的树脂底基上，挖边长为1.2mm、深度为0.8mm平整的方形小坑，将传感器分布式埋植入底基，并用自制......
    6. 《非本征法布里-珀罗光纤氢气传感器的研究》PDF+DOC 提出了一种基于钯膜的非本征法布里-珀罗光纤氢气传感器的方案。钯在氢气环境中吸收一定量的氢并使其体积膨胀，而传感器腔长在应力的作用下发生变化。分析了其应力的传递过程，建立了法布里-珀罗腔腔长变化与氢浓度关系的数学模型。通过实验研究了该传感器的氢响应特性，理论模型预测的氢气浓度与实验结果吻合。...
    7. 《径向基函数神经网络在光纤法布里-珀罗传感器解调中的应用》PDF+DOC 提出了一种基于径向基函数(RBF)神经网络的光纤法布里珀罗传感器解调解方法，从理论上分忻了该方法的解调原理。从干涉谱中提取特征值，利用干涉谱的特征值和腔长作为训练集，对RBF网络进进行训练，训练好的网络就可以实脱预测腔长的功能。在测量范围为0～2 MPa的法布里-珀罗(F-P)腔MEMS压力传感器进......
    8. 《光纤菲佐气体压力传感器的波分频分复用方法》PDF+DOC 设计了一种新的光纤菲佐气体压力传感器，结合波分复用技术和空间频率复用技术，实现了不同腔长的光纤菲佐气体压力传感器的复用.给出了该复用系统的结构，阐述了其工作原理，最后利用实验验证了该方法的可行性.针对该系统中的串扰问题提出了基于参数化谱估计的Pisarenko谐波分解方案，使可复用的传感器腔长差降至......
    9. 《FFT与CZT联合算法用于光纤法布里珀罗传感器解调》PDF+DOC 通过对法布里-珀罗(F-P)型压力传感器傅里叶解调法的理论分析，在FFT的基础上引入CZT(线性调频Z变换)，以对传统的FFT算法进行改进.通过Matlab模拟解调，该联合算法相对误差仅为0.1%.在对测量范围为0~3 MPa的F-P腔MEMS压力传感器进行的解调试验中，当采用256点FFT变换和1......
    10. 《F-P腔式光纤压力传感器温度补偿设计研究》PDF+DOC F-P式光纤压力传感器因其独有的优点广泛应用于军事、民用领域。由于自身结构的关系，F-P式光纤压力传感器的性能受温度影响较大。本文通过对中空F-P式光纤压力传感器制作过程中相关参数的设计计算，对如何实现传感器自身的温度补偿设计进行了探索性研究。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。