作者:李源,邵力,栗大超,胡小唐,赵大博 单位:中国计量测试学会 出版:《计量学报》2008年第01期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJLXB2008010060 DOC编号:DOCJLXB2008010069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《横向负载下三维微触觉传感器的力学模型》PDF+DOC2007年第01期 李源,栗大超,胡小唐,赵大博,傅星 《MEMS三维微触觉力传感器标定方法》PDF+DOC2010年第04期 栗大超,王和牛,傅星,胡小唐 《单片集成MEMS技术》PDF+DOC2005年第03期 江建明,娄利飞,汪家友,杨银堂 《MEMS三维微力探针传感器设计及性能测试》PDF+DOC2011年第03期 王伟忠,赵玉龙,林启敬 《纤毛式MEMS矢量水声传感器的仿生组装》PDF+DOC2009年第03期 张国军,陈尚,薛晨阳,张斌珍,张开瑞 《三维微触觉MEMS传感器测试校准的方法与系统》PDF+DOC2006年第05期 赵大博,栗大超,李源,傅星,胡小唐 《MEMS电容式三维微触觉测头设计及校准》PDF+DOC2013年第12期 吴俊杰,李源,李东升,卢歆,何明轩 《多孔硅相对湿度传感器的设计》PDF+DOC2015年第05期 张胜兵,许高斌,陈兴,马渊明 《机器人主动式触觉的研究》PDF+DOC1995年第08期 戈瑜,梅涛,潘征,陈效肯,肖军,丁力 《MEMS的微粒污染和失效分析》PDF+DOC2002年第01期 吴健
  • 针对一种用于微结构几何量测量的微机电系统(MEMS)三维微触觉式传感器,开展了传感器的性能测试,系统评价了该传感器的性能。为了检测传感器的输出信号,提出了敏感梁上排布16个压阻的三维差动式压阻排布方式,并研究相应的压阻信号的全桥检测方法和微弱信号的调理电路,研究了基于高精度坐标定位平台的传感器三维性能测试方法和测试装备。通过实验,获得传感器的轴向100 nm的分辨力,4.7μm的量程,低于0.15%的线性误差,低于0.5%的轴间耦合度;以及在横向100 nm的分辨力和低于0.37%的线性误差等性能参数。

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