《新型密封式精密钢带光栅线位移传感器的研制》PDF+DOC
作者:钟健,许兴智,史淑华,张一钢,李岩
单位:中国机械工业联合会科技工作部;机械与电子杂志社
出版:《机械与电子》2008年第10期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJXYD2008100230
DOC编号:DOCJXYD2008100239
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研制了一种新型的密封式超长精密钢带光栅线位移传感器.该传感器采用了反射式精密超长计量钢带光栅尺作为测量基准尺,实现了大量程,并且依据激光光电扫描器拾取光栅莫尔条纹光电信号,提高了光栅付工作间隙量和测量的精度.实验的结果表明:传感器量程为3m,10m,50m时,其测量精度可以达到±;5μm/m,±;10μm/m,±;20μm/m。
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