作者：张慧,宋光德,官志坚,靳世久 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008060100 DOC编号：DOCCGJS2008060109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《电容式微机械超声传感器设计与仿真》PDF+DOC2017年第02期 王朝杰,王红亮,段培盛,陈一波,胡晓峰 《电容式微超声传感器的电极参数优化设计》PDF+DOC2010年第07期 张慧,宋光德,靳世久,官志坚,刘娟 《一种微加工超声传感器的设计》PDF+DOC2008年第01期 张慧,宋光德,栗大超,官志坚,靳世久 《基于ANSYS的新型聚合物石英压电传感器振动性能分析》PDF+DOC2017年第02期 王南飞,李强,谷宇 《智能化电容式薄膜厚度在线检测仪》PDF+DOC1998年第12期 刘冬春,齐轩琴,吴小津,郑义忠 《用聚酰亚胺改善POSFET超声传感器的性能》PDF+DOC1997年第04期 郑学仁,李斌,刘百勇 《智能化涡流薄膜厚度测量的研究》PDF+DOC1997年第01期 周仲浩,秦志伟,黄光周 《电容式薄膜压力传感器》PDF+DOC1991年第04期 А.А.Казарян,杨宗信 《电容薄膜规规管零漂的改善》PDF+DOC1987年第04期 李正海 《基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术》PDF+DOC2010年第S1期 杨蒙生,邢丕峰,高党忠,马小军,李朝阳

    • 介绍了电容式微加工超声传感器(cMUT)的工作原理，通过理论计算和有限元仿真分析，讨论了cMUT中薄膜厚度、薄膜半径、薄膜残余应力和空腔厚度的变化对传感器的塌陷电压和谐振频率的影响，为传感器的设计和制作提供了依据。

    📙 相关资料

    1. 《电容式微机械超声传感器设计与仿真》PDF+DOC 建立电容式微机械超声传感器(CMUT)微元三维有限元模型，经过分析CMUT微元不同结构对CMUT性能的影响，得到CMUT结构参数。设定工作频率范围1~2 MHz，工作电压Vdc&lt；100V，首先，利用有限元模型进行模态分析研究薄膜参数与一阶频率的关系，以此确定薄膜参数；然后，在阐述相关理......
    2. 《电容式微超声传感器的电极参数优化设计》PDF+DOC 建立了电容式微超声传感器(cMUT)的有限元模型，通过对模型进行静电-结构耦合仿真分析，研究了金属电极的结构参数包括电极面积、电极厚度、电极材料以及电极相对与薄膜的位置等参数的变化对传感器性能的影响。分析了电极参数与传感器吸合电压，静态电容，机电转换比以及机电耦合系数的关系，最后得到了优化的电极结构......
    3. 《一种微加工超声传感器的设计》PDF+DOC 电容式微加工超声传感器(cMUT)是近年来出现的新型器件，具有高灵敏度、频带宽和机电转换效率高等优点，大有取代传统的压电式超声传感器之势.介绍了cMUT的基本结构和工作原理，提出了一种新型传感器结构.针对此结构建立了两个有限元模型，通过对其中的一个三维模型进行模态分析得知，cMUT可工作在一阶频率处......
    4. 《基于ANSYS的新型聚合物石英压电传感器振动性能分析》PDF+DOC 新型聚合物石英压电传感器制备过程中，AT切型石英压电传感器基体的表面粗糙度及其基膜界面化学性质影响聚合物薄膜的生长，导致聚合物薄膜厚度不均匀、表面存在缺陷，使得传感器采集的频率信号不稳定.本文建立了新型聚合物石英压电传感器在考虑薄膜厚度不均、中心缺陷条件下的力学模型，利用ANSYS有限元软件对其进行......
    5. 《智能化电容式薄膜厚度在线检测仪》PDF+DOC 本文介绍了用电容测微仪和单片机构成的薄膜厚度在线检测系统。重点介绍了非接触式电容传感器原理及在本系统中的应用实例，简要说明了单片机的组成及与电容测微仪的接口。...
    6. 《用聚酰亚胺改善POSFET超声传感器的性能》PDF+DOC 用聚酰亚胺（ＰＩ）垫高ＰＶＤＦ－ＭＯＳＦＥＴ超声传感器的扩展栅电极，当ＰＩ厚度大于５μｍ时，扩展栅电容减少到原来的１／６以下，传感器的灵敏度可提高１１．３ｄＢ。讨论了ＰＩ工艺膜的制备和亚胺化温度对ＰＩ膜厚和介电系数的影响。...
    7. 《智能化涡流薄膜厚度测量的研究》PDF+DOC 叙述了智能化涡流薄膜厚度测量系统的组成、原理及控制关系，分析了保证测量不确定度很小的措施。指出了采用涡流测量薄膜厚度也是一种实用的测量方法。...
    8. 《电容式薄膜压力传感器》PDF+DOC 为了确定气流对制品(被测对象)的动力作用，需要利用被测对象或其模型的表面可变压力信息。取得这种信息的最常用器具常是些传统的容积式传感器，其中包括半导体式、压电式、磁效式和电容式传感器等等。...
    9. 《电容薄膜规规管零漂的改善》PDF+DOC 从1949年开始到现在，国外已研制出四代电容薄膜压力传感器.第一代是差压式双边对称电极的传感器；第二代是绝对式单边双电极的传感器；第三代在测量线路上有了很大的改进；第四代是对式单边单电极的传感器，首先分析了造成电容压力传感器稳定性差的6种原因。认为环境温度的改变和规管焊接应力是造成规管零漂的主要因素......
    10. 《基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术》PDF+DOC 研究了基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术，搭建实际系统对自支撑Au、Mo膜进行测量。结果表明，该系统有效消除了薄膜翘曲、不完全展平的影响，测量精度达到干涉仪水平。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。