作者：孙慧明,张筱朵,吴剑,秦明,黄庆安 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008050130 DOC编号：DOCCGJS2008050139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出用硅-硅直接键合的SOI片制作压阻式湿度传感器。它是利用涂覆在硅膜上聚酰亚胺膜吸湿发生膨胀，导致双膜结构发生弯曲产生应力的原理进行工作的。为了确定传感器结构、优化尺寸，采用ANSYS软件进行了模拟计算、设计了MEMS湿度传感器的制造工艺，对制作的微湿度传感器进行了测试，其灵敏度为0.21 mV%RH，最大湿滞为8%RH。

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