作者：王冰,徐平 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2008年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2008070140 DOC编号：DOCBDTJ2008070149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了能够对低浓度的CH4进行灵敏探测以减少煤矿生产过程中瓦斯爆炸的概率，通过热蒸发SnO2和活性炭混合粉末的自组装制备方式直接在Cr-Au梳状交叉电极上合成了一层SnO2纳米棒气敏层，从而研制出自组装型SnO2纳米棒气敏传感器。经测试，发现此传感器对于浓度为10&#215；10-6~500&#215；10-6的CH4具有非常好的探测灵敏度，继而从气敏机制、自组装制备方式、SnO2纳米棒的比表面特性及SnO2纳米棒的尺度低于德拜长度等角度解释此传感器对CH4具有高气敏性的原因。

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