作者：施云芬,施云波,孙墨杰,冯侨华 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2008年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2008050390 DOC编号：DOCBDTX2008050399 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对含磷毒气快速检测问题，以自制的杂化酞菁钯-聚苯胺为敏感膜材料，设计了一种双信道声表面波(SAW)传感器.阐述了传感器的基本原理，推导出以有机膜作为信道中间介质时，差频输出Δf由物理化学吸附两种机制叠加的数学模型.依据声波振荡条件，设计了146&#177；5MHz振荡频率的信号采集电路；以钽酸锂晶体为压电基片，通过MEMS微加工技术形成叉指电极对和加热膜；以真空镀膜工艺将敏感膜材料成膜，修饰在SAW信道中间区域构成SAW传感器.测试结果表明：最优气敏性时的材料配比为PdPc0.35PANIO.65；芯片加热60~80℃可提高性能，响应时间≤30s；输出与测试气体浓度与数学模型一致，为线性变化率-110kHz(mg/m3)的N型线性关系；抗汽油、CO2等气体干扰；80天稳定性考核，Δf≤&#177；0.1kHz，满足实际使用要求。

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