作者：李建利,房建成,盛蔚 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2008年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2008010130 DOC编号：DOCYQXB2008010139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种MEMS扭摆式强磁场测量传感器》PDF+DOC2017年第02期 徐雪祥,张鉴,鲍霖,戚昊琛,杨文华 《MEMS型电容薄膜真空计的关键技术研究进展》PDF+DOC2019年第01期 王呈祥,韩晓东,李得天,成永军,孙雯君,李刚 《传感器的功能与使用》PDF+DOC2000年第03期 赵亚东 《应力集中式多晶硅薄膜压力传感器》PDF+DOC1998年第03期 陶文中,高明光,唐松林,吴紫峰,田雷,李娟 《气体摆式水平姿态传感器》PDF+DOC1994年第04期 张福学,张志健 《传感器补偿的线性化》PDF+DOC1981年第02期 沈绿涟,吴志鹤 《环境温度对气流式水平姿态传感器灵敏度的影响》PDF+DOC2009年第03期 朴林华,丁霞,宋佳,刘玉洁,李言杰 《气体摆式两维倾角传感器的结构与信号处理》PDF+DOC2006年第01期 林宇,段成丽,朴林华,张福学 《全方位气体摆式倾角传感器的结构原理》PDF+DOC2006年第05期 林宇,朴林华,张福学 《基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器》PDF+DOC2014年第02期 李晓博,赵玉龙,程荣俊

    • 在很多控制、监测和导航系统中，不仅需要角位移和角速度信息，同时还需要角加速度信息，为了测量角加速度信息，首次提出了一种力平衡扭摆式硅MEMS角加速度传感器，采用具有大扭转惯量的扭摆式活动极板作为敏感元件，长方形金属电极板作为电容式变换器，静电力实现力平衡反馈回路，文中介绍了扭摆式硅MEMS角加速度传感器的结构及原理，详细推导出传感器的动力学方程和灵敏度，仿真结果验证了理论模型的正确性，传感器灵敏度达到0.388 9 V.(r.s-1)-1。该传感器具有体积小、质量轻、功耗小、零偏稳定性好、噪声小等优点。

    📙 相关资料

    1. 《一种MEMS扭摆式强磁场测量传感器》PDF+DOC 提出了一种扭摆式结构的MEMS电容式强磁场传感器，采用洛伦兹力驱动，通过测量硅板扭摆导致的电容变化来检测外部磁场强度，测量磁场的量程设计在0.2 T～2 T之间。首先介绍了传感器的工作原理，然后对其进行仿真，分析其物理特性，建立了模型并且求解出各阶模态下的振动形式，得到传感器主振模态频率为28.26......
    2. 《MEMS型电容薄膜真空计的关键技术研究进展》PDF+DOC 近二十年以来，仪器的小型化发展以及微机电系统(MEMS)技术工艺的发展带动了电容薄膜真空计的发展。其中，MEMS型电容薄膜真空计能将电路和敏感元件集成在同一芯片上，具有体积小、能耗低的优点，能广泛的运用在工业测量、深空探测等领域，是真空计量仪器研究热点之一。然而，体积小伴随着的测量范围窄、输出线性度......
    3. 《传感器的功能与使用》PDF+DOC 随着科学技术的发展 ，人民物质文化水平的日益提高 ，传感器在现代化生产和尖端技术中起着重要的作用。成千上万的传感器每时每刻严密地监视着每个生产细节 ，大大地减轻人的体力劳动和脑力劳动 ，为人类的进步起着瞩目的作用...
    4. 《应力集中式多晶硅薄膜压力传感器》PDF+DOC 介绍一种以多晶硅薄膜为敏感材料的压力传感器。该传感器利用了双岛结构膜片的应力集中效应，灵敏度得到提高，且具有良好的线性度和过载能力。...
    5. 《气体摆式水平姿态传感器》PDF+DOC 本文提出“气体摆”的新概念，报导了气体摆式水平姿态传感器的结构、电路和性能。...
    6. 《传感器补偿的线性化》PDF+DOC 在应变式传感器中，常用温度敏感电阻来修正误差。虽然这种方法只是使误差曲线偏转一个角度，然而，合理的采用并联电阻也能使补偿线性化。本文介绍选择这些并联电阻的方法。...
    7. 《环境温度对气流式水平姿态传感器灵敏度的影响》PDF+DOC 采用有限元方法，计算了不同温度下倾斜10&#176；时敏感元件内的温度场和流场，分析和验证了环境温度对气流式水平姿态传感器灵敏度的影响机理。结果表明：随着环境温度的增加，传感器灵敏度降低；反之，随着环境温度的下降，传感器灵敏度提高；倾斜10&#176；时，传感器的灵敏度温度系数为0.......
    8. 《气体摆式两维倾角传感器的结构与信号处理》PDF+DOC 介绍了气体摆式两维倾角传感器的敏感原理即气体摆倾角敏感原理，并对两维倾角传感器的敏感元件结构设计方案进行了分析。分析了气体摆式两维倾角传感器的基本原理，在此基础上，研究了克服影响传感器性能的环境因素的方法，给出了一个详细和优化的解决方案。最后通过对实际制作的两维倾角传感器进行的测试表明，该文介绍的气......
    9. 《全方位气体摆式倾角传感器的结构原理》PDF+DOC 介绍了全方位气体摆式倾角传感器的敏感原理，并对几种敏感元件的结构设计方案进行了详细的分析。在影响传感器主要性能的基础上，比较了不同敏感元件的优劣，找出最合适的敏感元件结构设计，最后通过对实际制作的全方位倾角传感器进行测试，表明所介绍的全方位气体摆式倾角传感器的灵敏度达到0.1&#176；，方......
    10. 《基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器》PDF+DOC 为满足高冲击时加速度测量的要求，研制了一种基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器。内部敏感元件采用对称的十字梁与平膜结合结构，可以有效地降低偏轴影响及横向灵敏度。使用ANSYS软件对芯片结构进行静态分析与模态分析，结果表明其在满量程情况下能安全工作。利用加速度冲击台进行测试，结果表明该加速度传感器......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。