作者：马绍宇,韩雁,董树荣,李侃,周海峰 单位：南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 出版：《固体电子学研究与进展》2008年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGTDZ2008020320 DOC编号：DOCGTDZ2008020329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振(Thin film bulk acoustic resonator，FBAR)质量传感器。薄膜体声波谐振器谐振频率非常高(GHz数量级)，同时具有很高的品质因数，因此基于这种器件的质量传感器具有非常高的质量灵敏度。提出了三对全金属Al-W层作为布拉格声学反射层的FBAR，采用AlN作为压电层，制备出了固态装配型FBAR传感器。通过淀积不同厚度Al层顶电极，对器件的质量灵敏度进行了分析，得到质量传感器串联谐振频率在2.8GHz附近，质量响应度达到5&#215；10-4ng/Hz/cm2，可以实现分子量级的质量传感。

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