《一种新型MEMS微波功率传感器的设计与模拟》PDF+DOC

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2. 《一种新型MEMS微波功率传感器的理论模型与优化设计》PDF+DOC 提出了一种新型的MEMS微波功率传感器.与传统的结构相比，新结构具有测量误差小、设计简单、使用方便等显著优点.然后在全面考虑了热传导、热对流、热辐射三种传热机制的基础上，对传感器的主要部分即热电堆建立了热模型，进而导出了灵敏度、时间常数、噪声的理论解析式.最后根据拉格朗日乘数法原理，以给定的时间常数......
3. 《基于MEMS技术的对称式微波功率传感器的设计研究》PDF+DOC 近年来，随着微机械加工技术的飞速发展，被广泛应用在微波领域中。微波功率在微波信号的产生以及传输等各个环节的测量是必不可少的，而微波功率传感器是最常见的测量工具，由于传统的微波功率传感器容易造成误差。因此，提出了一种基于MEMS技术的对称式微波功率传感器，本文对此设计进行重点探讨。...
4. 《双通道MEMS微波功率传感器的悬臂梁设计》PDF+DOC 为实现热电式MEMS微波功率传感器与电容式MEMS微波功率传感器的兼容，得到一种性能优良的双通道MEMS微波功率传感器，需要对MEMS悬臂梁的匹配特性进行分析与设计。根据MEMS悬臂梁的一维集中参数模型，分析了MEMS悬臂梁的吸合电压，研究了MEMS悬臂梁的位移与电容的变化关系以及MEMS悬臂梁的谐......
5. 《热电式MEMS微波功率传感器的热学特性研究》PDF+DOC 热电转换效率直接影响热电式MEMS微波功率传感器的性能。着重对衬底掏空结构的热电式微波功率传感器进行了研究。将热电式微波功率传感器分成三个区域，建立了傅里叶模型，研究背面刻蚀的长度与厚度对热电堆热端温度的影响，发现热电堆两端温差与背面刻蚀的长度、厚度成正比。利用有限元仿真软件ANSYS，对不同刻蚀长......
6. 《基于介质嵌层的热电式微波功率传感器特性研究》PDF+DOC 为改善热电式MEMS微波功率传感器的电-热-电转换效率，提出了一种新型介质嵌层结构。选用Si_3N_4、新型材料石墨烯分别作为介质嵌层。建立介质嵌层结构的热学模型，采用Ansys软件对热学特性进行了仿真。结果表明，当石墨烯作为介质嵌层时，热电偶热端的温度提高了12 K，有效改善了传热效率，提高了热电......
7. 《MEMS微波功率传感器拉格朗日模型的研究》PDF+DOC 为了改善热电式微机电系统(MEMS)微波功率传感器的综合性能，首先对负载电阻至热电堆的距离、热偶长度、热偶数目建立灵敏度、噪声系数和时间常数的理论解析模型。根据理论解析模型，分析得到了时间常数、噪声系数对于灵敏度的制约作用。然后基于拉格朗日乘数法建立了在特定噪声系数、时间常数限制下的灵敏度优化解析模......
8. 《双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性》PDF+DOC 为了降低双通道MEMS微波功率传感器的回波损耗，提高传感器的测量精度，对MEMS悬臂梁的匹配特性进行了研究。首先，通过双通道MEMS微波功率传感器结构构建S参数的理论解析模型，分析了双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性，得到了MEMS悬臂梁的间距和回波损耗系数S11的关系；接着利用有限元软件HFS......
9. 《基于单片式微波集成电路的终端式MEMS微波功率传感器(英文)》PDF+DOC 提出了一种基于塞贝克效应的终端式MEMS微波功率传感器，该传感器的制作工艺与GaAs单片式微波集成电路(MMIC)工艺兼容。利用热电偶检测温度差，生成与微波功率成比例的直流电压，由GaAs/Au热电偶串联构成热堆。传感器将电功率转化为热，再间接测量热堆生成的直流电压。采用微机械加工技术，去除了器件底......
10. 《基于MEMS技术的差分式微波信号相位检测器》PDF+DOC 提出了基于MEMS技术，由功分器、45&#176；移相器和MEMS电容式微波功率传感器组成差分式微波信号相位检测器，实现了在被测信号幅度未知条件下全周期的相位测量.利用HFSS对各组件进行了模拟设计，包括功分器的模拟与设计和MEMS电容式微波功率传感器的模拟与设计，特别采用GaAs MMIC......