作者:吕树海,杨拥军,徐淑静,徐爱东,徐永青 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2008年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2008040100 DOC编号:DOCBDTQ2008040109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍了一种基于热流原理的新型三轴MEMS热对流加速度传感器,它没有活动质量,无需多个器件组合就可以进行任意方向的加速度信号测量。分析了该器件的工作原理,设计了器件结构,进行了工艺开发,加工出了原理样机。测试表明:该器件实现了三个轴向的加速度信号的检测性能,验证了新原理的可行性;测量量程达到±2g,分辨率达到1mg,抗冲击能力达到10000g,具备了良好的性能。

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