《新型三轴MEMS热对流加速度传感器的研究》PDF+DOC
作者:吕树海,杨拥军,徐淑静,徐爱东,徐永青
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》2008年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ2008040100
DOC编号:DOCBDTQ2008040109
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介绍了一种基于热流原理的新型三轴MEMS热对流加速度传感器,它没有活动质量,无需多个器件组合就可以进行任意方向的加速度信号测量。分析了该器件的工作原理,设计了器件结构,进行了工艺开发,加工出了原理样机。测试表明:该器件实现了三个轴向的加速度信号的检测性能,验证了新原理的可行性;测量量程达到±;2g,分辨率达到1mg,抗冲击能力达到10000g,具备了良好的性能。
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