《SnO_2基薄膜气体传感器制作与敏感性测试》PDF+DOC
作者:竺志大,王昌龙
单位:上海市机械工程学会
出版:《机械制造》2008年第12期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJXZG2008120150
DOC编号:DOCJXZG2008120159
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在现有的粉末烧结型SnO2基气体传感器基础上研制了薄膜型SnO2基气体传感器,以抛光的耐热石英玻璃为基片,真空磁控溅射50~70nm厚度的SnO2薄膜,在SnO2薄膜上分别溅射不连续的ZnO、Al2O3、CeO2、InO2等薄膜,传感器背面溅射30μm的Ni80Cr20电阻合金作为传感器加热电阻,用薄膜热电偶测量传感器工作温度。测试了不同的复合膜对传感器灵敏度和选择性的影响,并对传感器的吸附与解吸速度进行了测试,薄膜传感器达到相同灵敏度所需的工作温度比粉末烧结型传感器下降100~150℃,吸附解吸速度比粉末烧结型快。
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