作者：范波,熊继军,郭涛,毛海央,王敏 单位：中国计算机用户协会自动控制分会;中国计算机用户协会山西分会 出版：《微计算机信息》2008年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWJSJ2008010610 DOC编号：DOCWJSJ2008010619 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式，这种结构的传感器有很高的灵敏度，但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器，通过用ANSYS有限元分析软件仿真计算，说明该结构的加速度传感器具有很小的横向效应。

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