《MWCNT-WO_3薄膜双声路SAW NO_2气体传感器》PDF+DOC
作者:文常保,朱长纯,巨永锋,邱彦章,许宏科,刘君华
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2008年第10期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2008100060
DOC编号:DOCCGJS2008100069
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以金属钨粉,H2O2,CH3OH和多壁碳纳米管(MWCNT)为原料,在双声路声表面波(SAW)器件的测量声路上制作了MWCNT-WO3薄膜,提出并实现了一种MWCNT-WO3薄膜双声路SAW NO2气体传感器。由于MWCNT和WO3对NO2气体都有敏感作用,而且碳纳米管的毛细作用、以及MWCNT的加入都增加了气体的接触面积,提高了NO2气体的吸附和敏感作用。同时,SAW器件的双声路结构消除了由于外界测量条件改变引起的测量误差,也进一步提高了传感器的可靠性和准确性。实验结果表明,该传感器对各种浓度的NO2气体具有好的响应特性,在31.2×;10-9到20×;10-6范围内,传感器的响应灵敏度为9.8kHz/1×;10-6,比单一MWCNT或WO3薄膜对NO2气体具有更好的灵敏度和线性特性。
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