作者：何磊,殷晨波,张子立,杨柳 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2016年第09期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2016090040 DOC编号：DOCBDTQ2016090049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 应用基于密度泛函理论(DFT)的第一性原理，并借助Materials Studio软件中Castep模块建立了CO与SnO_2薄膜(110)面的吸附模型，最终确定了Pd掺杂的与纯净的SnO_2(110)面的最佳吸附位置分别为O_(2C)和Sn_(5C)，吸附能分别为-1.842 5 eV和-0.533 3 eV。在此基础上，通过分析吸附体系电子态密度(DOS)及差分电荷密度的变化，阐明了SnO_2基CO气体传感器敏感膜的微观电阻变化机理及利用Pd掺杂能够改善气敏性能的原因。最后实验表明，Pd掺杂后SnO_2薄膜最佳工作温度由275℃降至200℃，灵敏度提高到30.1，验证了理论分析的结果。

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