《声表面波化学战剂气体传感器的研究》PDF+DOC
作者:马晋毅,江洪敏,李燕,杨靖
单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所
出版:《压电与声光》2008年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYDSG2008050010
DOC编号:DOCYDSG2008050019
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介绍了声表面波气体传感器的基本工作原理和设计方法,通过SAW芯片拓扑结构、敏感膜、覆膜工艺和信号处理电路等方面的优化,研制出两种SAW化学战剂气体传感器,具有灵敏度高、响应和解吸附快,抗干扰能力强的特点。
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