作者：黄梅红,王巨锋,庄其仁 单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《激光与光电子学进展》2016年第07期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJGDJ2016070150 DOC编号：DOCJGDJ2016070159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出一种复合结构微机电系统(MEMS)磁扭转微镜光纤电流传感器，传感部分由磁扭转微镜和双光纤准直器组成。介绍了MEMS扭转微镜的结构及电流传感原理。对电流传感器模型进行分析，结果表明，选择合适的准直器端面与微镜的距离，可以避免信号失真。利用归一化光强峰峰值作为交变电流来测量输出信号时，电流测量灵敏度随电流测量值的变化而变化，且被测电流的电流强度接近0时，测量灵敏度也接近0。因此采用归一化光强线性矫正信号处理方法，得到了很好的输出线性响应曲线，使电流测量灵敏度不受电流变化的影响。最后实验验证了理论分析和模拟仿真结果的正确性，实验测得的归一化光强线性矫正响应灵敏度约为0.034/A。

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