《生物/化学微传感器技术和应用(二)》PDF+DOC
作者:史永基,高雅利
单位:北京信息科技大学
出版:《传感器世界》2008年第11期
页数:8页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGSJ2008110020
DOC编号:DOCCGSJ2008110029
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本文综述了生物/化学微传感器的技术和应用,详细描述了起源于半导体技术的标准工艺流程和制造三维机械结构的特殊微细机加工工艺,给出了基本化学传感器原理和对应的化学/生物传感器应用实例,最后提出了单片集成化学/生物微传感器系统,包括单一芯片上传感器结构和运转电路。
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