《扇形梳齿驱动式体硅微机械隧道陀螺仪的设计与制备(英文)》PDF+DOC
作者：王凌云,李文望,庄根煌,孙道恒
单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版：《光学精密工程》2009年第06期
页数：6页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFGXJM2009060400
DOC编号：DOCGXJM2009060409
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《新型微机械隧道陀螺仪的设计和工艺制备》PDF+DOC2009年第04期 李文望,孙道恒,王凌云
《扇形梳齿驱动式微机械隧道陀螺仪的初步研究》PDF+DOC2006年第03期 王凌云,刘益芳,孙道恒
《微机械电子隧穿陀螺仪研究初步研究》PDF+DOC1999年第04期 杨拥军,王寿荣,周百令,苏岩
《国外微机械惯性仪表的进展》PDF+DOC1996年第01期 高钟毓
《微机械惯性传感器检测平台的设计与应用》PDF+DOC 刘雪涛
,高钟毓
,张嵘
《惯性传感器技术及发展》PDF+DOC2001年第05期 徐景硕
《一种基于微机械传感器的关节角度测量方法》PDF+DOC2016年第09期 孙田星
《利用真空电子隧道效应制造高灵敏度加速度计》PDF+DOC1992年第02期 夏建弘
《硅微机械惯性传感器技术及其应用》PDF+DOC2005年第01期 俞瑛
《MEMS惯性传感器技术的误差补偿及可靠性研究》PDF+DOC2014年第03期 李瑞养,韩旭,郑磊
介绍了一种利用隧道效应所具有的高位移敏感特性来获得较高灵敏度的微机械隧道振动陀螺仪的设计和工艺制备，该陀螺仪分别采用扇形梳齿驱动和面外振动悬臂梁的方式实现质量块的振动和恒隧道电流的检测。介绍了扇形梳齿驱动的工作原理和隧道陀螺仪的设计。由于采用了硅玻键合和深反应离子蚀刻(DRIE)的DDSOG体硅制备工艺，因而可获得较大的敏感质量块，从而使陀螺仪具有较高的灵敏度和较大的动态响应范围。根据检测模态和驱动模态匹配的原则，利用有限元模型对隧道陀螺仪的结构尺寸进行了优化，仿真结果表明，该陀螺仪在常压下的灵敏度为0 .007nm(°；)/s。
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