作者：尹亮,陈伟平,刘晓为,周治平 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2009年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2009060220 DOC编号：DOCGXJM2009060229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用高压18V CMOS集成电路工艺，设计了一种开关电容闭环加速度计接口电路芯片。芯片电路中包括开关电容型电荷敏感放大器，PID控制电路以及相关双采样电路。采用相关双采样技术并用大面积PMOS晶体管作前级放大器输入级来消除放大器的1/f噪声、失调电压及KT/C噪声；用高环路增益及静电力平衡技术消除后级电路的1/f噪声、电荷注入和时钟馈通。在相同电极的条件下，利用电荷检测与静电力反馈时域分离法，有效地消除了驱动馈通的影响。设计的芯片采用18V电源电压供电，闭环加速度计刻度因子为420mV/g，噪声密度为10μg/2～1/(Hz) ，芯片面积为15.2mm2。

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