作者:陈喆,韩丰田 单位:中国电子学会 出版:《电子测量与仪器学报》2009年第07期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZIY2009070180 DOC编号:DOCDZIY2009070189 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 静电悬浮电机通过可控的静电力将转子无接触地悬浮起来,具有极高的工作寿命,可用作力平衡式三轴加速度计或双轴角速率陀螺。研制的转子静电悬浮式微电机采用差动电容式微位移传感器来精确检环形转子在电极腔内的运动,然后借助于悬浮控制系统来实现转子的五自由度有源静电悬浮。文中介绍了基于公共激励电极方案的微位移检测电路,并进行了设计仿真和实验测试。仿真分析和实验测试表明,设计的电容式位移检测电路可用于MEMS微静电悬浮电机的悬浮控制系统。

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