作者：尚永红,李艳秋,于红云,孙红光,苏波 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008020250 DOC编号：DOCCGJS2008020259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 将中心岛膜结构的压力敏感膜用在非接触式电容式压力传感器中，解决了平膜结构带来的各点挠度不同、非线性和需要后续补偿电路的问题。通过对材料为多晶硅的中心岛膜进行结构优化设计和挠度、应力等力学性能分析。计算了在不同外加压力条件下压力敏感膜的电容数值、灵敏度和线性度。根据优化设计，外加压力在0.2~1.4&#215；105Pa间变化时，电容值在0.0251~0.0281pF间变化；通过分析两种结构敏感膜在XY面内同一位置与中心挠度差的变化率，中心岛膜结构的变化率为49.4%低于平膜结构1.7%。因而中心岛膜结构比平膜结构有更好的灵敏度和线性。

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