作者：裘安萍,庄瑞芬,施芹 单位：中国惯性技术学会 出版：《中国惯性技术学报》2009年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGXJ2009010210 DOC编号：DOCZGXJ2009010219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 硅微谐振式加速度计以易于检测的准数字信号作为输出，是微传感器的一个研究热点。提出一种基于一级微杠杆放大机构和DETF谐振器的硅微谐振式加速度计的结构设计，在分析工作机理以及误差来源的基础上阐述硅微谐振式加速度计的设计要点；结合现有加工工艺水平完成整体结构设计；运用MATLAB分析结构参数对性能的影响并对参数进行优化设计；运用ANSYS对加速度计整体结构进行仿真验证。所设计加速度计的谐振频率约29kHz，标度因数为95Hz/g，量程为&#177；50g，其差分输出频率的线性度为0.099%。经研究表明，在加速度计的结构设计中，量程范围要与谐振器原理性误差协调考虑；谐振器振幅不宜过大；在现有加工工艺条件下，谐振器振梁的宽度产生的加工误差最大，对谐振器的性能影响最大。

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