作者：李文望,孙道恒,王凌云 单位：厦门大学 出版：《厦门大学学报(自然科学版)》2009年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDZK2009040150 DOC编号：DOCXDZK2009040159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种新型微机械隧道振动陀螺仪的设计和工艺制备，该陀螺仪采用平行梳齿驱动和面外振动框架的方式分别作为质量块的振动和恒隧道电流的检测，对平行梳齿驱动的工作原理和隧道陀螺仪的设计进行了详细的阐述.由于采用了硅玻键合和DRIE的DDSOG体硅制备工艺，因而可以获得较大的敏感质量块，从而使得该陀螺仪具有较高的灵敏度.根据检测模态和驱动模态匹配的原则，利用有限元模型对隧道陀螺仪的结构尺寸进行了优化.仿真结果表明，该陀螺仪在常压下具有0.07 nm(&#176；/s)的灵敏度。

    📙 相关资料

    1. 《扇形梳齿驱动式体硅微机械隧道陀螺仪的设计与制备(英文)》PDF+DOC 介绍了一种利用隧道效应所具有的高位移敏感特性来获得较高灵敏度的微机械隧道振动陀螺仪的设计和工艺制备，该陀螺仪分别采用扇形梳齿驱动和面外振动悬臂梁的方式实现质量块的振动和恒隧道电流的检测。介绍了扇形梳齿驱动的工作原理和隧道陀螺仪的设计。由于采用了硅玻键合和深反应离子蚀刻(DRIE)的DDSOG体硅制备......
    2. 《微机械电子隧穿陀螺仪研究初步研究》PDF+DOC 本文提出了根据微机械振动陀螺仪与电子隧道传感器相结合的设想，介绍了该型陀螺仪的工作原理，推导了陀螺仪的运动方程，从理论上阐述了该设想的可行性．仿真结果表明，该陀螺仪较电容检测陀螺仪，其灵敏度可以得到很大提高．...
    3. 《国外微机械惯性仪表的进展》PDF+DOC 本文综述了国外微机械惯性仪表的进展；分别介绍了微硅型加速度计、微硅型陀螺仪、多功能加速度计陀螺以及微惯性测量单元的原理、结构、电路组成及性能指标；初步探讨了这类仪表的应用前景和技术发展的途径。...
    4. 《硅微机械惯性传感器技术及其应用》PDF+DOC 本文简述了MEMS技术及微机械传感器的技术含义，着重对硅微机械惯性传感器原理及研制硅微机械惯性传感器的关键技术进行描述，为开展硅微机械惯性传感器研究及应用作技术准备及必要的思考。...
    5. 《基于隧道效应的MEMS陀螺仪的研究》PDF+DOC 提出了一种高精度、低量程隧道陀螺仪的新结构，分析了其结构及工作原理；对陀螺进行了必要的仿真，仿真结果与理论推导相接近，这样就实现了隧道效应传感器的高灵敏度与哥氏力测量角速度原理的结合。采用体硅工艺设计了陀螺仪版图，并对其进行流片加工。加工完成后，采用HP4156C高精度半导体参数测试仪对传感器的隧道......
    6. 《惯性传感器的发展趋势》PDF+DOC 概述惯性传感器的主要发展趋势─—固态化、微型化和低成本民用化。...
    7. 《弹性驱动陀螺仪概述》PDF+DOC 弹性驱动陀螺仪是利用发条弹簧所储存的弹簧势能驱动陀螺仪转子高速旋转的陀螺仪.本文重点介绍弹性驱动陀螺仪一般特点及快速驱动原理，并作简单的前景分析。...
    8. 《半球谐振子陀螺捷联导航仪》PDF+DOC 德尔可系统公司已经研制出可理想地应用于捷联导航系统的新型陀螺，即半球谐振子陀螺(HRG)。因为它结构简单，比现有其它传感器具有更高的可靠性。已研制出一种容错导航系统对这项技术作实际测试以显示这种仪表的能力。在1989年末，这种系统已成功地完成了飞行试验。这种容错导航系统由六个独立的传感器通道组成，每......
    9. 《微机械惯性传感器检测平台的设计与应用》PDF+DOC 一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台，介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法。...
    10. 《石英微机械惯性传感器的加工技术》PDF+DOC 本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理，叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理，给出了石英音叉传感器的加工方法，提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。