《400mm薄镜面主动光学实验系统》PDF+DOC
作者：李宏壮,林旭东,刘欣悦,王富国,杨飞,明名,王建立,韩昌元
单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版：《光学精密工程》2009年第09期
页数：8页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFGXJM2009090040
DOC编号：DOCGXJM2009090049
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采用400 mm口径，12 mm厚的球面反射镜进行了主动光学实验。实验镜支撑结构由背部12个主动支撑点和3个固定支撑点组成。主动支撑点用压电陶瓷促动器和压力传感器组成力促动器，用于控制实验镜面形；固定支撑点用于控制实验镜的定位。实验中通过干涉仪测试镜面面形。分别测量出反射镜在单独一个促动器施加单位作用力前后的镜面面形，求出这两个面形之差得到该促动器的响应函数，由各促动器的响应函数组成刚度矩阵，然后用阻尼最小二乘法计算各支撑点的校正力。最后，通过PID算法闭环控制各促动器施加力的过程。经过3次校正，将初始状态的1.22λRMS的面形误差校正到0.12λRMS，接近了镜面加工的0.1λRMS面形精度，说明所采用的主动校正算法和过程正确可行。
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