《MEMS中Ni-W合金薄膜力学性能的研究》PDF+DOC
作者:刘瑞,汪红,汤俊,毛胜平,陈辉,丁桂甫
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2009年第08期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2009080140
DOC编号:DOCCGQJ2009080149
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研究了柠檬酸胺—1—羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中Ni-W的力学性能。通过紫外曝光的光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术制备出微拉伸试样和单轴微拉伸测试系统进行拉伸试验。结果表明:在Ni-W薄膜试样尺寸为5μm×;50μm×;100μm条件下,其杨氏模量约为100.4 GPa,抗拉强度为1.96 GPa,应变约为3.6%。
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