作者：贺文阳,邓永和,曾庆丰 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2009年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2009060150 DOC编号：DOCBDTQ2009060159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在WO3粉体材料中加入一定质量分数(w)的掺杂剂(Pt、Pd、PtO2、PdCl2、SnO2、SiO2、Al2O3)，于恒温600℃烧结1h制作成旁热式丙酮气体敏感元件。采用静态电压测量法，研究和分析了不同的加热电压与不同掺杂配方元件灵敏度(β)的关系，进一步分析了掺杂剂对元件的响应与恢复时间的影响。实验结果表明，掺入质量分数为0.5%的Pt粉，在加热功率为600mW时，丙酮气敏元件的灵敏度提高约8倍，元件的响应时间和恢复时间分别缩短了约60%和88%。

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