作者：陆学斌,刘晓为,揣荣岩,施长治 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2009年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2009010020 DOC编号：DOCNMJM2009010029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《多晶硅纳米薄膜压阻和电学修正特性》PDF+DOC2020年第07期 陆学斌,于斌 《膜厚对多晶硅纳米薄膜压阻温度特性的影响》PDF+DOC2007年第11期 刘晓为,潘慧艳,揣荣岩,王喜莲,李金锋 《多晶硅薄膜制备工艺及其应用发展》PDF+DOC2014年第02期 李海博,尹延昭,郑丽 《多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器》PDF+DOC2009年第09期 王健,揣荣岩,何晓宇,刘伟,张大为 《复合钝化多晶硅纳米膜应力分布仿真分析》PDF+DOC2009年第S1期 揣荣岩,张大为,孙显龙,刘斌,李新 《多晶硅应变因子计算研究》PDF+DOC 王健,江健,穆罕默德 《BTG浓度传感器与常用浓度传感器的分析与比较》PDF+DOC2016年第04期 刘桂德 《多晶硅敏感技术(连载四)》PDF+DOC1994年第04期 王善慈 《掺杂浓度对多晶硅电阻温度系数的影响》PDF+DOC1990年第06期 石争,毛赣如 《硅压力传感器的非线性分析及优化设计》PDF+DOC2003年第01期 沈桂芬,付世,丁德宏,姚朋军,张宏庆,范军,吕品

    • 利用低压化学气相沉积(LPCVD)技术制备了不同掺杂浓度的多晶硅纳米薄膜，并对样品的压阻特性进行了测试.采用最小二乘法对实验数据进行拟合，得到了应变系数及其线性度与掺杂浓度的关系.实验结果表明：掺杂浓度从8.1&#215；1018cm-3变化至7.1&#215；1020cm-3，多晶硅纳米薄膜的纵向和横向应变系数先增加再减小，最后基本不再随掺杂浓度而变化，且纵向应变系数大于横向应变系数；掺杂浓度低于4.1&#215；1019cm-3时，应变系数的非线性较大，且随掺杂浓度的升高而迅速减小；掺杂浓度高于4.1&#215；1019cm-3时，应变系数的非线性较小并出现波动现象，同时纵向应变系数的非线性小于横向应变系数的非线性.利用隧道压阻理论对实验结果进行了分析.结合以前的研究结果可知，适合传感器制作的多晶硅纳米薄膜的优化掺杂浓度应为(2.0~4.1)&#215；1020cm-3，为进一步利用多晶硅纳米薄膜制作传感器提供了非常有价值的参考信息。

    📙 相关资料

    1. 《多晶硅纳米薄膜压阻和电学修正特性》PDF+DOC 本文制备了不同掺杂浓度的多晶硅纳米薄膜，研究了掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜压阻和电学修正特性的影响。利用低压化学气相淀积法制备了不同掺杂浓度的多晶硅纳米薄膜，掺杂浓度分别为1.0&#215；10~(20) cm~(-3)、2.0&#215；10~(20) cm~(-3)、4.1&......
    2. 《膜厚对多晶硅纳米薄膜压阻温度特性的影响》PDF+DOC 重掺杂多晶硅纳米薄膜具有良好的压阻温度特性，用它制作高温压阻式传感器灵敏度高、成本低，具有广阔的应用前景.为优化多晶硅纳米薄膜的压阻温度特性，本文采用低压化学气相淀积(LPCVD)技术制作了不同膜厚(30~250 nm)的多晶硅薄膜，分别测试了应变系数、薄膜电阻率与工作温度的关系.利用扫描电镜(SE......
    3. 《多晶硅薄膜制备工艺及其应用发展》PDF+DOC 多晶硅薄膜在一些半导体器件及集成电路中得到了广泛的应用。由于多晶硅生产成本低，效率稳定性好、光电转换效率高，多晶硅薄膜的研究备受关注。目前多晶硅薄膜已广泛地用于各种微电子器件的制造，其用途从栅极材料和互联引线发展到绝缘隔离、钝化、太阳能电池、各种光电器件等。文章介绍了制备多晶硅薄膜的多种工艺方法，结......
    4. 《多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器》PDF+DOC 多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。为了使这种良好的压阻特性得到实际应用，文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构，并采用有限元分析方法对弹性膜片尺寸以及应变电阻分布进行了优化。依据优化设计结果试制了压力传感器......
    5. 《复合钝化多晶硅纳米膜应力分布仿真分析》PDF+DOC 多晶硅纳米薄膜具有优良的压阻特性，为提高其在传感器应用中的稳定性和可靠性，对这种薄膜的钝化层结构进行了研究。基于压力传感芯片的结构特点，建立了钝化层结构的有限元分析分析模型，给出了应力分布与SiO_2和Si_3N_4钝化层结构之间关系。结果表明：采用Si_3N_4-SiO_2-Si_3N_4复合钝化......
    6. 《多晶硅应变因子计算研究》PDF+DOC 伴随多晶硅力敏电阻在高温压力传感器和微机械传感器上的应用，学者对其压阻效应原理进行深入研究。本文论述了P型多晶硅隧道压阻模型和应变因子理论计算存在问题，提出了一种应变因子改进算法，与实验结果比较表明该算法的科学性，为多晶硅广泛应用打下一定的理论基础。...
    7. 《BTG浓度传感器与常用浓度传感器的分析与比较》PDF+DOC 浓度的测量对造纸抄造非常重要，尤其是高速纸机。如果浓度产生波动将会给产品带来致命的缺陷。从生产工艺角度详细地叙述了BTG浓度传感器对比普通浓度传感器使用中的优缺点；同时也分析了其他传感器的使用方法(例如像静态剪切力法、原子法以及微波方法测量浓度的传感器)。...
    8. 《多晶硅敏感技术(连载四)》PDF+DOC 5 多晶硅薄膜的压阻效应 目前，多晶硅薄膜在传感器上的应用主要有压力传感器、加速度传感器、应变计、热电传感器及执行器等。对于前几种可归结为力学量传感器，其理论基础是依据于多晶硅的压阻效应。...
    9. 《掺杂浓度对多晶硅电阻温度系数的影响》PDF+DOC 本文对多晶硅电阻的温度系数进行了研究，随着掺杂浓度的增大，多晶硅电阻的温室系数从负值变到正值。实验结果可用Seto模型进行解释。...
    10. 《硅压力传感器的非线性分析及优化设计》PDF+DOC 分析了硅压力传感器的线性与非线性 ，讨论了非线性产生的原因 ，并提出了硅压力传感器的优化设计方法...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。