作者：宫铭举,邓越,马军,汤亮,乔东海,何庆,王孟姣 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2009年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2009020130 DOC编号：DOCCGJS2009020139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在电容式传声器相关理论以及方形膜研究的基础上，采用圆形硅膜作为振动膜，研制了电容式低频传声器，该传声器直接采用音频传声器结构，不同于以往的电容式低频传声器结构。首先进行了等效结构参数的仿真，为实验提供了理论支持；然后，制备了直径为0.08m，厚度约60μm的圆形硅膜，并以此硅膜为振动膜研发了一种高灵敏度的低频传声器，其中，两极板间的气隙厚度约为100μm。测试表明，当偏置电压为4.5V时，该传声器具有较高的灵敏度，100Hz处的灵敏度约为-27dB，通频带(20～300Hz)平坦，低频响应部分(0～20Hz)需要改进方法进一步测试。

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