作者：常慧敏,李民强,王英先,关柯,高理升 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第11期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009110040 DOC编号：DOCYBJS2009110049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《厚膜电容式集成压力传感器感压元件研究》PDF+DOC2001年第03期 虞学犬,马以武 《电容式压力传感器的厚膜集成化研究》PDF+DOC2001年第11期 马以武,虞学犬 《基子厚膜技术的电容式集成压力传感器的感压元件研究》PDF+DOC2001年第04期 马以武,虞学犬 《厚膜电容式压力传感器》PDF+DOC2009年第08期 常慧敏,周平,高理升,王英先,徐智晴,刘春艳 《厚膜陶瓷电容式压力传感器设计与制备》PDF+DOC2006年第12期 李鹏,李民强 《自动固体密度计的研究》PDF+DOC1994年第02期 王永洪,孙振东,冯正鸣,王洁,范世福 《电容式压方传感器的计算机辅助分析》PDF+DOC1988年第03期 贺庆之 《电场、恒定电流在实际中的应用》PDF+DOC 于永刚 《一种新型电容式燃油传感器》PDF+DOC2010年第05期 邱淑贤,高旭 《新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究》PDF+DOC2006年第06期 唐力强,李民强,陈建群,张宾,王英先

    • 厚膜电容式压力敏感芯片具有工作温度范围宽、耐腐蚀、抗过载能力强、蠕变和迟滞小等优点。该芯片是由2块能牢固键合成一体的上下基板组成，基板材料为96%Al2O3陶瓷。下基板既为弹性体，又为电容器的可动电极；上基板为电容器的固定电极并可承载运放、信号调节电路。文中研制的压力敏感芯片量程为0~100 kPa，电容值为30 pF，非线性为1.5%，工作温度为-40~125℃，零点温漂小于200 ppm/℃。

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