作者:聂萌,杨恒山 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2017年第12期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2017120090 DOC编号:DOCCGJS2017120099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 设计了一种大量程硅压阻式压力传感器,通过理论模型分析优化传感器结构尺寸,保证薄膜的线性变化和抗过载能力;并通过有限元建模分析可动薄膜位移及应力随压力变化关系,对结构进行优化设计;同时用有限元仿真验证理论分析的正确性。通过理论与仿真优化分析,提出了采用C型膜片一体化硅压阻式压力传感器结构,可动薄膜选用方膜边长为1 000μm,厚度为50μm,实现0~2 MPa的压力测量。

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