作者：本刊通讯员 单位：中国电子科技集团公司第五十八研究所 出版：《电子与封装》2009年第12期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDYFZ2009120170 DOC编号：DOCDYFZ2009120179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 国内首家研发商用陀螺仪系列惯性传感器的MEMS芯片设计公司——深迪半导体，日前发布了旗下第一款陀螺仪产品——SZ030CG，这标志着第一款具有中国自主知识产权的商用MEMS陀螺仪诞生。MEMS陀螺仪是半导体行业的基础元件，需要专用的MEMS加工技术，具有高技术性。虽然欧美日都有一批相

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