作者：崔保健,周德海 单位：中国液压气动密封件工业协会 出版：《液压气动与密封》2009年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYYQD2009030080 DOC编号：DOCYYQD2009030089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文针对硅微控阀门的特性，提出了一种新的气体压力控制方法，设计了基于微机电硅微控阀门的气体压力控制系统，对系统的传感器调理电路、控制电路进行了设计，解决了小压力和低流量时的压力精密控制问题。该系统压力输出的范围为0～110kPa，不确定度为0.1%FS，气体压力控制稳定性达到了0.01%。可广泛用于模拟和数字压力计和航空气压仪表的校准检定。

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