作者：张鹏,王兢 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2009年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2009010030 DOC编号：DOCCGJS2009010039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 用ANSYS仿真软件得到最优化的气体传感器电极结构，采用平面工艺在硅衬底上制作了3 mm&#215；2 mm的直热式SnO2薄膜甲醛气敏元件。用溶胶凝胶(sol-gel)法制备了掺Pd的纳米SnO2薄膜，材料的平均粒径约为15 nm。元件的最佳工作温度约为230℃，在该加热温度下测试了元件对体积分数为50&#215；10-9的甲醛气体的灵敏度以及响应恢复时间。实验证明：元件的灵敏度随气体浓度的增大而增大，元件的响应和恢复时间均约为50 s。

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