作者：石云波,王玲,刘俊 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2009年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2009020150 DOC编号：DOCYDSG2009020159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机械谐振式加速度计的输出频率信号不易受到环境噪声的干扰，在传输和处理过程中也不易出现误差。针对实验室加工的谐振式微机械加速度传感器，采用静电激励和电容拾振的检测方式，设计了电容拾振检测电路和差频输出电路，实现了谐振式加速度计的微弱差频信号检测。利用精密分度盘对该加速度传感器进行了性能测试，实验室测试灵敏度为25.7 Hz/g，达到了设计要求。

    📙 相关资料

    1. 《MEMS器件常用微弱信号检测技术研究》PDF+DOC 文章针对微机械(MEMS)器件中常用的微弱信号检测技术进行了简单的介绍。针对MEMS器件中微弱信号检测所使用的理论方法进行了总结分析，并提出了一些典型、实用的MEMS微弱信号检测电路。...
    2. 《用于硅微加速度计检测的差分频率电路设计》PDF+DOC 微机械加速度计以其具有体积小、成本低、易于集成和批量生产的特点越来越受到人们的关注。本文针对谐振式微加速度计微弱信号的检测问题，提出了一种新的微弱信号的检测方法，并且设计了相关的差分频率检测电路，该电路简单、精度高、易于集成、抗干扰性好，具有广阔的应用前景。...
    3. 《微机械电容式加速度传感器测试电路研究》PDF+DOC 在测量硅微电容式加速度传感器时，由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰，提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况，作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点，并提出了一种微电容检测的改进电路，用此电路对电容式加速度传感器进行了测试.数据表明，微加速度计灵敏度为1.63V/gn，......
    4. 《静电力驱动在现代传感技术中的应用》PDF+DOC 本文介绍了静电驱动的原理和优势，综述了静电力驱动在微机械陀螺、谐振式加速度传感器和谐振式压力传感器近年来的研究现状。最后指出了静电力驱动现阶段存在的问题并提出了解决方案。...
    5. 《微机械力敏传感器及其发展动向》PDF+DOC 微机械加工技术的出现把传感器，特别是力敏传感器，推向一个新的发展阶段。微机械力敏传感器以其小型、廉价和集成化等优点已成为力敏传感器发展的主流。本文介绍微机械压力传感器、加速度传感器和微机械陀螺的现状及其发展动向。...
    6. 《谐振式微机械惯性传感器》PDF+DOC 对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述，分析了各自的应用特点。从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性，必有广阔的应用和发展前景。...
    7. 《微机械加速度传感器及应用》PDF+DOC 叙述了各种微机械加速度传感器的工作原理、特点、研究现状及发展趋势。...
    8. 《谐振式硅微机械加速度计研究进展》PDF+DOC 谐振式硅微机械加速度计作为一种新型的对加速度进行测量的传感器，是通过检测加速度施加前后谐振敏感元件谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点，己成为微传感器的重要发展方向之一。汇总了该传感器的国内外相关研究现状，并对加工工艺进行了总结，讨论了谐振式硅微......
    9. 《硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理》PDF+DOC 为解决硅微机械谐振式压力传感器的微弱信号检测问题，并改善其可靠性和动态响应，提出在传感器原有结构上增加辅助传感器，构成组合敏感原理。利用根据辅助传感器测量结果推算出的谐振频率近似值，可控制带通滤波器的中心频率以改善噪声抑制；可及时判断闭环系统失效；可在闭环系统失效状态下继续部分维持传感器的测量功能。......
    10. 《微机械加速度计的研究现状综述》PDF+DOC 随着微机械加工技术的不断进步以及微机械加速度计市场占有率的逐步扩大，各种类型的微机械加速度计层出不穷，其中以电容检测式微机械加速度计发展的最为迅速且产业化水平最高，其次是压阻式、压电式、热对流式、隧道电流式、谐振式，以及近年来成为研究热点的光学式加速度计。本文详细阐述了国内外已报道的各种类型微机械加......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。